重生之北国科技 - 什么是MEMS,微机械电子。

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    很多非工科读者,提出要求,希望可以简单介绍一下文中涉及到的基础概念。
    这里的解释,尽量用作者自身的语言来描述。如果大家想仔细研究,请自行上网搜索就好。作者希望用直白的语言,尽量简单的把事情描述清楚。
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    mems,其实有广义和狭义两种定义。
    狭义上来讲,就是用半导体工艺,加工出来的,带运动部件的微型机械电子装置或者仪器。
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    以工业的发展历史来看,最原始的加工方法,就是人工处理,例如打磨,抛光,钻孔等。还有一些低能量的制造方法,例如铸造等。
    这些工艺,我们可以在出土的各种武器,装备上都能看到。
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    随着近代工业革命的兴起,随着蒸汽机,内燃机等动力源的出现。更大的动力,代表着更多的加工方法。
    于是我们就看到了车床,铣床。冲压,锻压,挤压等工艺,也成为了可能。
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    而随着半导体工艺的产生,一种新的加工模式诞生了。那就是拍照,蚀刻。
    半导体工艺的基础,就是沉积,覆盖保护层,光照,冲洗这几个步骤。通过这几个步骤,反复的在物体表面,覆盖一层层的不同花纹的材料。
    用这种方法,通过特殊的排列组合,就可以加工出立体的三维结构,这些结构,有一些局部构件,可以在狭小的空间,进行微量的运动,例如颤动。这些动作,又可以被测量和转化。这样,我们就得到了微米,乃至纳米级的传感器。
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    mems的概念很大,传感器只是它的一种用途而已。
    从狭义的角度来看,用半导体工艺加工出来的,能够产生内部运动部件的,就是mems。
    这里面典型应用有喷墨打印机的喷头!
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    mems传感器,还可以广义去扩散。只要加工工艺对,哪怕没有相对运动部件,也可以归为此类。例如数码摄像机的摄像头!
    从某种意义上来讲,只要尺度是毫米级别的传感器,肯定都是mems的天下了。其它任何一种工艺,都无法加工出这么细小级别的产品。

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